三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易活动易挥发的无色通明液体。在空气中极易焚烧，在-18℃以下也有着火的风险，遇明火则剧烈焚烧，焚烧时宣布赤色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；
三氯硅烷的蒸气能与空气构成浓度规模很宽的爆破性混合气，受热时引起激烈的爆破。它的耐热性比二氯硅烷好，在900℃时分化发生氯化物有毒烟雾(HCl)，还生成Cl2和Si。遇潮气时发烟，与水剧烈反响:
与氧化性物质触摸时发生爆破性反响。与乙炔、烃等碳氢化合物反响发生有机氯硅烷：
在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，SiHCl3可被还原为硅烷。容器中的液态SiHCl3当容器遭到剧烈碰击时会着火。可溶解于苯、醚等。
无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，可是在有水分存在时腐蚀大部分金属。
出产工艺:欢腾氯化法硅粉经枯燥后参加氯化欢腾炉，与通人炉中的枯燥氯化氢气体在340℃进行反响。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔别离四氯化硅，由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝，制得三氯氢硅制品。
用处: 用来制作硅酮化合物、用作高分子有机硅化合物的质料。三氯氢硅不仅是制作硅烷偶联剂和其它有机硅产品的重要中间体，仍是制作多晶硅的首要的组成原资料。硅烷偶联剂是一种重要的、高科技含量、高的附加价值的有机硅复合资料，经过硅烷偶联剂可使非交联树脂完成交联固化或改性，因此在玻璃纤维、铸造、轮胎橡胶等职业得到了日益广泛的使用。出产三氯氢硅的首要副产品四氯化硅也是制作有机硅的首要的组成原资料，它的制制品有硅酸酯、有机硅油、高温绝缘漆、有机硅树脂、硅橡胶和耐热垫衬资料等。高纯的四氯化硅仍是制作高纯二氧化硅、无机硅化合物、石英纤维以及光导纤维的重要质料。
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